설명
The Nano-M350 is a compact three axis (X, Y, Z) piezo nanopositioning system constructed from aluminum. The XY travel range is 50 μm and 20 μm in the Z axis under closed loop control. The compact design of the Nano-M350 allows it to be easily integrated into existing instrumentation for applications such as nanolithography, SEM. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ®technology provide absolute, repeatable position measurement with picometer accuracy under closed loop control. The Nano-M350 has been designed for high speed performance in the Z-axis while maintaining high precision motion and is also available in high vacuum (non-bakeable) compatible models.
Features | Typical Applications |
Technical Specifications | |
| Range of motion (X) | 50 μm |
| Range of motion (Y) | 50 μm |
| Range of motion (Z) | 20 μm |
| Resolution (20/50 μm) | 0.04/0.1 nm |
| Resonant Frequency (X) | 285 Hz ±20% |
| Resonant Frequency (Y) | 285 Hz ±20% |
| Resonant Frequency (Z) | 1580 Hz ±20% |
| θ roll, θ pitch (typical) | ≤1 μrad |
| θ yaw (typical) | ≤3 μrad |
| Recommended max. load (horizontal)* | 0.5 kg |
| Recommended max. load (vertical)* | 0.2 kg |
| Body Material | Auminum |
| Controller | Nano-Drive® |
| * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff. | |
배송안내
배송 지역 | 대한민국 전지역
배송비 | 2,500원 (50,000원 이상 결제시 무료배송)
배송기간 | 주말 공휴일 제외 2~5일
- 모든 배송은 택배사 사정으로 지연될 수 있습니다.
교환 및 반품 안내
- 고객 변심으로 인한 교환/반품은 상품 수령 후 14일 이내 가능합니다.
- 고객 귀책 사유로 인한 반품의 경우 왕복 택배비는 고객 부담입니다.
- 반품접수 기한이 지난 경우, 제품 및 패키지 훼손, 사용 흔적이 있는 제품은 교환/반품이 불가합니다.
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The Nano-M350 is a compact three axis (X, Y, Z) piezo nanopositioning system constructed from aluminum. The XY travel range is 50 μm and 20 μm in the Z axis under closed loop control. The compact design of the Nano-M350 allows it to be easily integrated into existing instrumentation for applications such as nanolithography, SEM. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ®technology provide absolute, repeatable position measurement with picometer accuracy under closed loop control. The Nano-M350 has been designed for high speed performance in the Z-axis while maintaining high precision motion and is also available in high vacuum (non-bakeable) compatible models.
| Features | Typical Applications |
Technical Specifications | |
| Range of motion (X) | 50 μm |
| Range of motion (Y) | 50 μm |
| Range of motion (Z) | 20 μm |
| Resolution (20/50 μm) | 0.04/0.1 nm |
| Resonant Frequency (X) | 285 Hz ±20% |
| Resonant Frequency (Y) | 285 Hz ±20% |
| Resonant Frequency (Z) | 1580 Hz ±20% |
| θ roll, θ pitch (typical) | ≤1 μrad |
| θ yaw (typical) | ≤3 μrad |
| Recommended max. load (horizontal)* | 0.5 kg |
| Recommended max. load (vertical)* | 0.2 kg |
| Body Material | Auminum |
| Controller | Nano-Drive® |
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