Semiconductor Manufacturing Processing Line Power Supply Unit

반도체 공정라인 웨이퍼 공급수의 정화공정, 초순수 공장에서 물의 초순수 정류용 전원공급장치
소용량 & 대용량의 다양한 용량제공
다양한 통신 모듈 탑재 : Local 제어 외에 Remote 콘트롤로 analog Programming, RS485, RJ45, Modbus RTU 등을 제공
독립된 보호기능 탑재
소비자 요구에 따른 다채널구성 가능

설명

반도체 공정라인 웨이퍼 공급수의 정화공정, 초순수 공장에서 물의 초순수 정류용 전원공급장치
소용량 & 대용량의 다양한 용량제공
다양한 통신 모듈 탑재 : Local 제어 외에 Remote 콘트롤로 Analog Programming, RS485, RJ45, Modbus RTU 등을 제공
독립된 보호기능 탑재
소비자 요구에 따른 다채널구성 가능
낮은 전압 리플과 노이즈로 정밀한 제어 가능
고정밀 측정 기능

15Kw 3U Compact 사이즈
Parallel Operation R11; 최대 5대, series Operation – 2대까지 가능
Power Factor : 0.8 @ Full rate and 460Vac
Programming & Readback Accuracy : Volt ±0.1% of Full Scale/Curr ±0.4% of Full Scale
OVP, OCP, OTP, FAN Fail, PMP, VA Balance, V-Sens Error, AC Input Fail, Rectifier Fail Protection 기능 탑재
Size : 426mm(W) x 132mm(H) x 600mm(D)
중량 : 약 30kg
Ripple Noise : Volt 60mVrms/Curr ±0.1% rms
Voltage Rise/Fall Time : Rising 100ms 10%~90% Half load/Falling 100ms 90%~10% Half load
Current Rise/Fall Time : Rising 100ms 10%~90% Half load/Falling 100ms 90%~10% Half load
Transient Response Time : 0.75%/1ms, 50%~100% or 100%~50% load change Recovers within 1ms to ±0.75% of full-scale
Efficiency : Max load 88% Volt max set, 50% load 80%
Stablility : 0.05%/8Hr of F.S