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Nano-UHV50

  • UHV 호환 피에조 나노 위치 측정기
  • 2축(XY)
  • 50μm x 50μm 운동 범위
  • 섭씨 100도까지 구울 수 있음
  • 티타늄 또는 비파형 구조
  • 폐쇄 루프 PicoQ® 컨트롤