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Nano-Align6 Series

  • 저선형 피에조 나노위치
  • 6축 동작(XYZ θX θY θZ)
  • 100μm x 100μm x 100μm x 1.1mrad x 1.5mrad x 5mrad 운동 범위
  • 200μm x 200μm x 200μm x 2.3mrad x 3.0mrad x 5mrad 운동 범위
  • 중앙 개구부: 직경 35mm
  • 폐쇄 루프 컨트롤

Nano-MTA Series

  • 400Hz 고속 스캔
  • 하나 또는 두 개의 축 운동
  • 2mrad, 5mrad 또는 10mrad 운동 범위
  • 임의의 방향으로 장착
  • 폐쇄 루프 컨트롤
  • 고안정성